HBO Microlithography Lamps for ASML i-line Systems
Области применения
- Microlithography
Советы по безопасности
Из-за высокой яркости, ультрафиолетового излучения и высокого внутреннего давления (в горячем состоянии) лампы HBO могут использоваться только в закрытых корпусах, специально предназначенных для этой цели. Из треснувшей лампы может выделяться ртуть: необходимо соблюдать особые меры предосторожности. Инструкция по безопасному обращению с лампами предоставляется по запросу и приведена в прилагаемой к лампам брошюре и руководстве пользователя.
Из-за высокой яркости, ультрафиолетового излучения и высокого внутреннего давления (в горячем состоянии) лампы HBO могут использоваться только в закрытых корпусах, специально предназначенных для этой цели. Из треснувшей лампы может выделяться ртуть: необходимо соблюдать особые меры предосторожности. Инструкция по безопасному обращению с лампами предоставляется по запросу и приведена в прилагаемой к лампам брошюре и руководстве пользователя.
Information about Family
HBO lamps > 200W are designed to meet the high demands of the Semiconductor industry. With peak intensity at 365nm these lamps are ideal for microlithography and are designed and qualified for specific equipment manufacturers.
Products
| Product |
|
|
|
|
Технические данные продукта | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
HBO 1003 W/PIL
|
1003 W | 27.1 V | 85,0 mm | 195.0 mm | ||
|
|
HBO 1500 W/PIL
|
1500 W | 23.0 V | 118,0 mm | 273.0 mm | ||
|
|
HBO 2100 W/PIL
|
2100 W | 24.0 V | 118,0 mm | 240.0 mm | ||
|
|
HBO 2500 W/PIL
|
2500 W | 28.0 V | 149,0 mm | 340.0 mm | ||
|
|
HBO 3500 W/PIL
|
3500 W | 23.0 V | 154,0 mm | 360.0 mm |